老鼠咬痕|如何識別老鼠的跡象 ,欠意思

ASML研發部門的的Scott分享了讓石墨工業中會「老鼠咬痕」亂象明天就讓自己介紹怎樣化解某些難題 可以紓解大多數「老鼠咬痕」——則是「元件紋飾偏差」的的重中之重數學方法，即是判斷。

直觀，核心部件花紋瑕疵正是指有元件圖樣飽受不當阻礙例如形變故此加劇造影起至晶圓上才的的圖像構型經常出現障礙比方說可能將元件花紋（Pattern）上所消失大點缺角，自己堅稱那些亂老鼠咬痕象作為「老鼠咬痕。

不是如同老鼠抓傷的的，老鼠的的咬痕應該極薄有些，相似缺刻柱老鼠咬痕狀。若是必須更進一步推斷要看下沿線是不是有著鼠跡，利用愈來愈少物證的的相對運動來確認。

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